Dgħajsa tal-wejfer tal-kwarz semikondutturi

Id-dgħajjes tal-wejfer tal-kwarz tas-semikondutturi Semixlab huma għodod ewlenin tal-berings iddisinjati għal proċessi ta' temperatura għolja bħad-diffużjoni, l-ossidazzjoni, is-CVD, l-ittemprar, eċċ., fil-manifattura tas-semikondutturi. Magħmula minn kwarz sintetiku ta' purità għolja b'reżistenza eċċellenti għat-temperatura għolja, stabbiltà kimika u koeffiċjent baxx ta' espansjoni termali, tista' ġġorr wejfers b'mod stabbli f'ambjenti ta' proċess ħorox biex tiżgura l-konsistenza tal-proċess u r-rendiment tal-prodott.

Tagħmir applikabbli: Kompatibbli mat-tipi kollha ta' Forn ta' Diffużjoni Orizzontali/Vertikali (Forn ta' Diffużjoni Orizzontali/Vertikali), sistema LPCVD u tagħmir ta' trattament bis-sħana rapidu (RTP).

Assigurazzjoni tal-kwalità

Kontroll strett tal-kwalità: 100% skoperta ta' tnixxija permezz ta' spettrometrija tal-massa tal-elju (rata ta' tnixxija <1×10⁻⁹ mbar·L/s). Rapport tal-purità tal-materjal (test ICP-MS) jinħareġ għal kull lott.

Standards ta' ċertifikazzjoni: Skont l-ispeċifikazzjonijiet SEMI F47, permezz taċ-ċertifikazzjoni tas-sistema ta' ġestjoni tal-kwalità ISO 9001:2015.

Ħajja tas-servizz: il-ħajja medja taħt kundizzjonijiet normali hija aktar minn sentejn (skont il-frekwenza tal-proċess u l-kundizzjonijiet tat-temperatura).

Għaliex tagħżel id-dgħajsa tal-kwarz tagħna?

Servizzi personalizzati: Daqs u kostruzzjoni personalizzati skont il-mudell tat-tagħmir (TEL, Kokusai, ASM, eċċ.) u r-rekwiżiti tal-proċess.

Rispons rapidu: Il-ħin standard tal-kunsinna huwa ta' 3 ġimgħat, l-ordnijiet urġenti jistgħu jitnaqqsu għal 10 ijiem tax-xogħol.

Netwerk ta' servizz globali: Ipprovdi pariri tekniċi, gwida għall-installazzjoni u appoġġ għall-manutenzjoni ta' wara l-bejgħ. Speċifikazzjonijiet tal-Materjal.

Speċifikazzjoni tal-proġett

Sintesi tal-materjal Kwarz imdewweb

Purità ≥99.99% SiO₂

Kompatibilità tad-daqs tal-wejfer 8", 12" (tista' tiġi personalizzata 6" jew 18")

Temperatura operattiva ≤1200°C (kontinwa) / 1300°C (quċċata)

Koeffiċjent ta' espansjoni termali (CTE) 0.55×10⁻⁶/°C (20-1000°C)

Ħruxija tal-wiċċ (Ra) ≤0.2μm

Kapaċità standard ta' 25/50/100 pillola

Gassijiet tal-proċess applikabbli O₂, N₂, H₂, Ar, SiH₄, HCl, eċċ.

Ossidazzjoni/diffużjoni f'temperatura għolja: doping tas-silikon (fosfru, diffużjoni tal-boron), tkabbir tal-ossidu tal-bieb.

Depożizzjoni ta' film irqiq: silikon polikristallin LPCVD, depożizzjoni ta' nitrid tas-silikon (Si₃N₄).

Proċess ta' ittemprar: ittemprar wara l-impjantazzjoni tal-jone (RTA), liga tal-metall.

Semikonduttur tat-tielet ġenerazzjoni: karbur tas-silikon (SiC), proċess ta' epitaxy tan-nitrid tal-gallju (GaN).

1. Karatteristiċi tal-materjal

Kwarz ta' purità ultra-għolja (>99.99% SiO₂): jevita t-tniġġis minn joni tal-metall (Na+, K+, Fe³+, eċċ.) u jissodisfa r-rekwiżiti ta' ndafa għal proċessi avvanzati (nodi <5nm).

Reżistenza għal temperatura għolja: temperatura ta' tħaddim kontinwu ta' 1200°C, reżistenza għat-temperatura istantanja ta' 1300°C, l-ebda riskju ta' deformazzjoni jew kristallizzazzjoni.

Inerzja kimika: Tiflaħ gassijiet tal-proċess bħal HCl, H₂, O₂, SiH₄ u ambjenti aċidużi/alkalini. Mhux korrużiv f'użu fit-tul.

2. Disinn ta' preċiżjoni

Ottimizza l-istruttura:

L-eżattezza tal-ispazjar tas-slott hija ta' ±0.05mm, li tiżgura pożizzjonament preċiż tal-wejfer (8/12 pulzier) u tevita grif jew spostament.

Disinn reżistenti għal xokkijiet termali, jadatta għal żieda u tnaqqis rapidu (rata ta' tisħin ≤20°C/min).

Formazzjoni baxxa ta' partiċelli: Il-wiċċ huwa illustrat b'preċiżjoni ultra (Ra ≤0.2μm) biex jitnaqqas it-twaħħil u l-waqgħa tal-partiċelli.

3. Konfigurazzjoni diversifikata

Kapaċità Fakultattiva: Appoġġ għal 25 biċċa, 50 biċċa, 100 biċċa u speċifikazzjonijiet standard oħra, tista' wkoll tiġi personalizzata b'numru ta' slott mhux standard.

Adattament tat-tip: Dgħajsa Miftuħa, Dgħajsa Magħluqa jew tip speċjali ta' dgħajsa (bħal disinn ta' kanal ta' devjazzjoni fil-qiegħ tad-dgħajsa).

M1: Tista' tipprovdi daqs mhux standard jew disinn speċjali?

A1: Semixlab jappoġġja servizzi personalizzati, inkluż aġġustament tad-daqs, limitu massimu tat-temperatura (aġġornament tal-materjal meħtieġ) jew tip ta' interfaċċja. Jekk jogħġbok ikkuntattja lit-tim tekniku ta' Semixlab għal rekwiżiti speċifiċi.

M2: Kemm idum il-ħin taċ-ċomb?

A2: Il-ħin tal-kunsinna għal prodotti standard huwa ta' 4-6 ġimgħat, u l-ħin tad-disinn u l-verifika għal prodotti personalizzati huwa ta' 2-3 ġimgħat.

M3: Tipprovdi appoġġ tekniku ta' wara l-bejgħ?

A3: Iva, nipprovdu konsultazzjoni teknika tul il-ħajja u servizzi ta' rispons għal emerġenza. F'każ ta' problemi ta' installazzjoni jew użu, it-tim ta' appoġġ jista' jiġi kkuntattjat fi kwalunkwe ħin permezz ta' email jew telefon.

M4: Il-prodott jissodisfa l-istandards tal-industrija tas-semikondutturi?

A4: Iva, il-proċess tal-produzzjoni jikkonforma mal-istandards SEMI u huwa ċċertifikat mis-sistema ta' ġestjoni tal-kwalità ISO 9001. Kull lott jiġi ttestjat għall-issiġillar tal-arja, ir-reżistenza għat-temperatura u l-purità qabel ma jitlaq mill-fabbrika.