Ċeramika SiC

Iċ-ċeramika SiC qed tintuża dejjem aktar fit-tagħmir tas-semikondutturi, l-aktar għax tiflaħ aħjar f'kundizzjonijiet aktar ħorox. Meta t-temperatura titla' jew il-proċess isir aktar aggressiv, materjali bħall-kwarz jew is-silikon jistgħu jibdew juru limiti, u ġeneralment hemmhekk jidħol is-SiC. Fi proċessi tal-forn bħall-ossidazzjoni jew id-diffużjoni, partijiet bħal wafer boats jew paddles magħmula mis-SiC għandhom it-tendenza li jdumu aktar. Huma jżommu l-forma tagħhom u ma jġibux ħafna kontaminazzjoni, anke wara ġirjiet twal. In-nies spiss jaqilbu mill-kwarz għal din ir-raġuni, speċjalment meta l-manutenzjoni ssir wisq frekwenti.

Għall-inċiżjoni, is-SiC ħafna drabi jintgħażel sempliċement għax jibqa' ħaj fil-plażma għal aktar żmien. Id-differenza fil-ħajja meta mqabbla mal-partijiet tas-silikon hija notevoli f'ħafna setups, għalkemm xorta tiddependi fuq il-proċess eżatt. Jgħin ukoll ftit fil-kontroll tal-partiċelli, li jsir aktar sensittiv hekk kif in-nodi jiċkienu. Se tara wkoll is-SiC użat bħala susċetturi f'MOCVD jew CVD. F'dawk il-każijiet, huwa inqas dwar is-"saħħa" u aktar dwar iż-żamma tal-imġiba tat-temperatura stabbli. Barra minn hekk, jidher f'partijiet tal-kamra bħal inforri jew doċċi, u xi kultant fl-immaniġġjar tal-komponenti wkoll.