Paletti tal-Cantilever tas-SiC

Ⅰ. Paletti Cantilever SiC ta' Purità Għolja għall-Immaniġġjar Preċiż tal-Wefers

Il-Paletti Cantilever tas-SiC huma komponenti kritiċi użati f'tagħmir tal-ipproċessar termali għall-immaniġġjar tal-wejfers waqt il-passi tal-epitassija, id-diffużjoni u l-ossidazzjoni fil-fabbrikazzjoni tas-semikondutturi. Il-proprjetajiet termali u mekkaniċi eċċezzjonali tagħhom jagħmluhom ideali għal ambjenti ta' temperatura għolja u korrużivi f'operazzjonijiet ta' kmamar nodfa.

Ⅱ. Ħarsa Ġenerali lejn il-Prodott u Vantaġġi Funzjonali

1. Proprjetajiet Eċċezzjonali tal-Materjal għal Applikazzjonijiet ta' Prestazzjoni Għolja

Il-Paletti Cantilever SiC ta' Semixlab huma manifatturati minn kisi tas-silikon karbur rikristallizzat (R-SiC) jew CVD SiC ta' purità għolja, li jipprovdu konduttività termali eċċellenti (sa 120 W/m·K), espansjoni termali baxxa (~4.0 x 10⁻⁶/K), u reżistenza eċċellenti għall-korrużjoni u x-xokk termali. Dawn il-proprjetajiet jiżguraw appoġġ stabbli tal-wejfer waqt proċessi ta' temperatura għolja, u jimminimizzaw ir-riskji ta' deformazzjoni jew kontaminazzjoni tal-wejfer.

2. Stabbiltà Dimensjonali Superjuri u Ċattità

B'tgħawwiġ minimu anke f'temperaturi li jaqbżu l-1400°C, id-disinn tal-cantilever jiżgura tqegħid u trasferiment uniformi tal-wejfer, li huwa vitali għall-uniformità tas-saff epitassjali. Il-massa baxxa u l-ebusija għolja tas-SiC itejbu r-rendiment tas-sistema u r-rispons għat-temperatura waqt l-ipproċessar termali rapidu.

3. Purità tal-wiċċ ta' grad ta' kamra nadifa

Bis-saħħa tal-finitura tal-wiċċ densa u lixxa tas-SiC, il-paletti Semixlab jimminimizzaw il-ġenerazzjoni tal-partiċelli u l-ħruġ ta' gass. Dan huwa partikolarment importanti f'ambjenti li jeħtieġu livelli ta' ndafa tal-Klassi 1 jew ISO 14644-1 Klassi 2.

4. Imfassal għal Fran Epitassjali, ta' Diffużjoni, u CVD

Il-Paletti Cantilever SiC tagħna jintużaw ħafna fi pjattaformi MOCVD, LPCVD, u fran tal-ossidazzjoni, kompatibbli ma' marki ewlenin ta' tagħmir bħal ASM, TEL, u Veeco. Huma ddisinjati għal uniformità termali ottimali u preċiżjoni mekkanika, u jgħinu biex jiżguraw rendiment ogħla u varjazzjoni aktar baxxa fil-proċess.

Ⅲ. Għaliex Tagħżel Semixlab?

Nipprovdu servizzi ta' inġinerija mfassla apposta, inklużi:

● Personalizzazzjoni tal-prodott għad-daqs, l-istruttura, u l-grad tal-materjal

● Ottimizzazzjoni tal-kisi għar-reżistenza termali u kimika

● Prototipazzjoni veloċi u kapaċitajiet ta' produzzjoni f'lottijiet żgħar

● Konsulenza teknika u validazzjoni tad-disinn

Bħala manifattur u fabbrika Ċiniża ewlenija tal-prodotti SiC Cantilever Paddles, Semixlab tinsisti li tipprovdi teknoloġija u soluzzjonijiet ta' prodotti personalizzati. Kemm jekk trid tottimizza l-proċess eżistenti tat-trattament bis-sħana, tixtri partijiet ta' sostituzzjoni ta' prestazzjoni għolja, jew tiżviluppa b'mod konġunt soluzzjonijiet SiC personalizzati, Semixlab ser jipprovdilek appoġġ tekniku u ta' kunsinna.

● Trasportaturi tal-wejfer tal-epitassija MOCVD

● Dirgħajn tal-paletti tal-forn tal-ossidazzjoni u d-diffużjoni

● Sistemi ta' tagħbija ta' wejfers f'għodod LPCVD/CVD

● Dirgħajn ta' appoġġ tas-susċetturi personalizzati għat-tkabbir ta' semikondutturi komposti