Dgħajsa SiC ta' Purità Għolja

Dgħajsa tas-silikon karbur (SiC) ta' purità għolja hija trasportatur taċ-ċeramika ta' prestazzjoni għolja ddisinjat għal proċessi ta' semikondutturi f'temperatura għolja, tkabbir tal-kristalli u trattament bis-sħana ta' preċiżjoni. Hija sinterizzata b'materjal SiC ta' purità ultra-għolja u għandha reżistenza eċċellenti għat-temperatura għolja, reżistenza għax-xokk termali u stabbiltà kimika. Hija użata ħafna fid-diffużjoni tas-semikondutturi, CVD, epitassija tal-LED u tkabbir ta' kristall wieħed fotovoltajku.

Applikazzjoni:

Id-Dgħajsa tas-SiC ta' Purità Għolja hija konsumabbli ewlieni tal-proċess tas-semikondutturi, użata prinċipalment biex iġġorr u tittrasferixxi wejfers f'ambjenti ta' temperatura għolja, u tintuża ħafna fid-diffużjoni tal-wejfer tas-silikon, l-ossidazzjoni, l-ittemprar u l-proċessi CVD. Hija adattata b'mod speċjali għal proċessi ta' temperatura għolja ta' semikondutturi tat-tielet ġenerazzjoni (bħal SiC/GaN) u apparati tal-enerġija.

Servizzi li jistgħu jiġu pprovduti:

analiżi tax-xenarju ta 'applikazzjoni tal-klijent, materjali li jaqblu, soluzzjoni ta' problemi tekniċi.

Profil tal-Kumpanija:

Semixlab għandu 2 laboratorji, tim ta 'esperti b'20 sena ta' esperjenza materjali, b'kapaċitajiet ta 'R & D u produzzjoni, ittestjar u verifika.

Parametri Tekniċi

Oqsma prinċipali ta' applikazzjoni

Endorsjar tal-verifika tal-katina ekoloġika

Il-verifika tal-katina ekoloġika ta' Semixlab High-Purity SiC Boat tkopri l-materja prima sal-produzzjoni, għaddiet minn ċertifikazzjoni standard internazzjonali, u għandha numru ta' teknoloġiji brevettati biex tiżgura l-affidabbiltà u s-sostenibbiltà tagħha fl-oqsma tas-semikondutturi u tal-enerġija ġdida.

Proċess ta' applikazzjoni tipiku

Tħejjija tal-Materja Prima (Trab SiC ta' Purità Għolja) → Proċess ta' Iffurmar (Ippressar Niexef/Ippressar Iżostatiku) → Proċess ta' Sinterizzazzjoni → Makkinar u Irfinar tal-Wiċċ (Tħin/Lustrar CNC, Inċiżjoni Kimika, Ittemprar) → Purifikazzjoni u Kisi CVD → Kontroll tal-Kwalità → Ippakkjar

Permezz ta' ottimizzazzjoni avvanzata tal-parametri tal-proċess, id-disinn strutturali uniku ta' Semixlab High-Purity SiC Boat jiżgura stabbiltà eċċellenti tal-wejfer filwaqt li jnaqqas b'mod sinifikanti r-riskju ta' kontaminazzjoni tal-partiċelli. Il-ħajja tas-servizz tagħha tista' tilħaq 5-8 darbiet dik tad-dgħajjes tradizzjonali tal-kwarz, u dan jagħmilha soluzzjoni ideali għat-trasport tal-wejfers f'temperatura għolja. Din l-innovazzjoni tippermettilha tissostitwixxi gradwalment l-importazzjonijiet fis-suq tas-semikondutturi, u tipprovdi soluzzjoni domestika ta' prestazzjoni għolja u kosteffettiva.

Għal speċifikazzjonijiet tekniċi dettaljati, white papers, jew arranġamenti ta' ttestjar ta' kampjuni, jekk jogħġbok ikkuntattja lit-Tim ta' Appoġġ Tekniku tagħna biex tesplora kif Semixlab jista' jtejjeb l-effiċjenza tal-proċess tiegħek.

Vantaġġi ewlenin tad-Dgħajsa SiC ta' Purità Għolja ta' Semixlab

1. Purità estrema (vantaġġ ewlieni)

Semixlab High-Purity SiC Boat għandu purità ultra-għolja (≥99.9999%), u l-kontenut ta' impurità (Fe, Al, Na, eċċ.) huwa kkontrollat ​​fil-livell ta' 1 ppm biex tiġi evitata l-kontaminazzjoni ta' wejfers jew materjali epitassjali, li huwa adattat b'mod speċjali għall-manifattura ta' semikondutturi SiC/GaN.

2. Inerzja kimika (reżistenza għall-korrużjoni)

Reżistenti għall-aċidu, l-erożjoni tal-alkali/plażma, u jista' jirreżisti gassijiet korrużivi bħal HF, HCl, H2 (bħal proċessi ta' inċiżjoni tas-semikondutturi). Ma joħroġ l-ebda gass f'temperaturi għoljin.

3. Saħħa mekkanika u tul tal-ħajja

Ebusija ultra-għolja, reżistenza eċċellenti għall-użu, tnaqqas ir-riskju li l-partiċelli jitfarrku, u testendi l-ħajja tas-servizz (ġeneralment 3 sa 5 darbiet dik ta' dgħajsa tal-kwarz). Ma tiġix deformata faċilment f'temperaturi għoljin, u żżomm il-flatness tal-wejfer (bħal warpage f'forn tad-diffużjoni <0.1mm).

4. Kompatibilità tal-proċess

Adattabbli għal varjetà ta' ambjenti ħorox, atmosferi ta' ossidazzjoni/tnaqqis (bħal O2, H2, Ar) u proċessi ta' kisi CVD/PVD. Il-wiċċ jista' jiġi personalizzat, bħal illustrar (Ra<0.1μm) jew kisi (bħal SiO2) biex titnaqqas aktar il-kontaminazzjoni.