Tubi tal-forn miksija bis-CVD sic
It-Tubi tal-Forn Miksija bis-SiC tas-CVD ta' Semixlab huma ddisinjati għal sistemi avvanzati ta' pproċessar termali tas-semikondutturi fejn il-purità tal-materjal, l-istabbiltà termali, u r-reżistenza kimika huma kritiċi għall-prestazzjoni tal-proċess u r-rendiment tal-apparat. Dawn it-tubi tal-forn huma mibnija bl-użu ta' sottostrati tal-grafita iżostatika ta' purità għolja, u huma msaħħa b'kisja densa ta' karbur tas-silikon depożitat bil-fwar kimiku (CVD). F'sistemi avvanzati ta' pproċessar termali, inkluż tagħmir ta' diffużjoni, ossidazzjoni, epitassija, u tkabbir tal-kristalli SiC/GaN, it-tubi tal-forn tas-Semixlab jiffunzjonaw bħala komponenti kritiċi biex tinżamm l-uniformità tal-proċess u l-kontroll tal-kontaminazzjoni. Nilqgħu l-inkjesta tiegħek.
deskrizzjoni
F'Semixlab, aħna speċjalizzati fil-provvista ta' Tubi tal-Forn Miksija b'CVD SiC ta' prestazzjoni għolja ddisinjati għal ambjenti impenjattivi tal-manifattura tas-semikondutturi. Billi jikkombinaw sottostrat ta' saħħa għolja ma' kisi ultra-pur ta' Silicon Carbide Depożitat minn Fwar Kimiku (CVD), it-tubi tal-forn tagħna jipprovdu stabbiltà termali eċċezzjonali, reżistenza għall-korrużjoni, kontroll tal-kontaminazzjoni, u ħajja twila ta' servizz.
Iddisinjati għal applikazzjonijiet avvanzati ta' pproċessar termali, it-tubi tal-forn miksija b'Semixlab CVD SiC jintużaw ħafna f'franijiet ta' diffużjoni, sistemi ta' ossidazzjoni, reatturi tal-epitassija, tagħmir għat-tkabbir tal-kristalli SiC, u sistemi ta' pproċessar bil-vakwu f'temperatura għolja.
X'inhuma t-Tubi tal-Forn Miksija bis-SiC tas-CVD?
Tubu tal-forn miksi b'CVD SiC huwa struttura komposta li tikkonsisti minn materjal tas-sottostrat magħżul bir-reqqa (Grafita Iżostatika ta' Purità Għolja) miksi b'saff dens ta' Karbur tas-Silikon (SiC) ta' purità għolja permezz tat-teknoloġija tad-Depożizzjoni tal-Fwar Kimika.
Fost dawn is-sistemi ta' materjali, il-grafita iżostatika ta' purità għolja flimkien mal-kisi tas-SiC bis-CVD hija rikonoxxuta b'mod wiesa' bħala waħda mill-aktar soluzzjonijiet effettivi għat-tagħmir tal-ipproċessar termali tas-semikondutturi. Karatteristiċi Fiżiċi tat-Tubi tal-Forn Miksija bis-SiC bis-CVD
Wiċċ tas-Silikon Karbur CVD ta' Purità Għolja
Is-saff tas-SiC tas-CVD jipprovdi:
● Purità ultra-għolja b'kontaminazzjoni metallika baxxa ħafna
● Mikrostruttura densa u mhux poruża
● Reżistenza eċċellenti għall-ossidazzjoni
● Reżistenza superjuri għal gassijiet tal-proċess korrużivi
● Prestazzjoni baxxa ta' ġenerazzjoni ta' partiċelli
● Sottostrat tal-Grafita Iżostatika ta' Purità Għolja
Is-sottostrat tal-grafita iżostatika jikkontribwixxi għal:
● Konduttività termali eċċellenti
● Distribuzzjoni uniformi tas-sħana
● Reżistenza għolja għal xokk termali
● Stress baxx ta' espansjoni termali
● Struttura ħafifa iżda mekkanikament robusta
Din il-kombinazzjoni tippermetti lit-tubi tal-forn joperaw b'mod affidabbli f'ambjenti ta' temperatura għolja li jaqbżu l-1400°C filwaqt li jżommu l-istabbiltà dimensjonali u l-indafa tal-proċess.
Għaliex Tagħżel Semixlab?
Semixlab hija ffukata fuq il-provvista ta' materjali avvanzati u komponenti ta' preċiżjoni għal tagħmir tal-manifattura tas-semikondutturi.
Il-qawwiet tagħna jinkludu:
● Kompetenza f'materjali tal-proċess termali tas-semikondutturi
● Manifattura ta' grafita ta' purità għolja u komponenti tas-SiC
● Teknoloġija avvanzata ta' kisi CVD
● Soluzzjonijiet ta' inġinerija personalizzati
● Kwalità stabbli u katina tal-provvista affidabbli
● Appoġġ għal applikazzjonijiet ta' SiC, GaN, silikon, u semikondutturi komposti
Billi tgħaqqad l-għarfien espert fix-xjenza tal-materjali mal-esperjenza fl-industrija tas-semikondutturi, Semixlab tgħin lill-klijenti jtejbu l-istabbiltà tal-proċess, inaqqsu r-riskji ta' kontaminazzjoni, u jestendu l-ħajja tas-servizz tat-tagħmir.
Kemm jekk qed tiżviluppa fran tad-diffużjoni, reatturi tal-epitassija, sistemi ta' tkabbir tal-kristalli SiC, jew tagħmir avvanzat għall-ipproċessar termali, Semixlab tipprovdi soluzzjonijiet personalizzati ta' tubi tal-forn miksija bis-CVD SiC iddisinjati biex jissodisfaw ir-rekwiżiti stretti tal-manifattura moderna tas-semikondutturi.
Ikkuntattja lil Semixlab illum biex tiddiskuti r-rekwiżiti tal-applikazzjoni tiegħek u skopri kif it-tubi tal-forn miksija bis-SiC tas-CVD ta' grad semikonduttur tagħna jistgħu jtejbu l-prestazzjoni tal-proċess u l-affidabbiltà operattiva tiegħek.
speċifikazzjonijiet
| Proprjetajiet fiżiċi bażiċi tal-kisi tas-SiC CVD | |
| proprjetà | Valur tipiku |
| Struttura tal-kristall | Polikristallin tal-fażi β tal-FCC, prinċipalment orjentat lejn (111) |
| Densità | 3.21 g / cm³ |
| Ebusija | Ebusija ta' 2500 Vickers (tagħbija ta' 500g) |
| Daqs tal-Qamħ | 2 ~ 10μm |
| Purità Kimika | 99.99995% |
| Kapaċità tas-Sħana | 640 J·kg-1K-1 |
| Temperatura tas-Sublimazzjoni | 2700 ℃ |
| Qawwa flesswali | 415 MPa RT 4 punti |
| Modulus taż-żgħażagħ | 430 Gpa 4pt liwja, 1300℃ |
| Konduttività Termali | 300W·m-1K-1 |
| Espansjoni Termali (CTE) | 4.5 × 10-6K-1 |
applikazzjonijiet
Applikazzjonijiet fil-Manifattura tas-Semikondutturi
Il-kombinazzjoni ta' sottostrat ta' purità għolja u kisi dens ta' karbur tas-silikon CVD tippermetti lil dawn it-tubi tal-forn jaħdmu b'mod affidabbli f'firxa wiesgħa ta' proċessi ta' manifattura ta' semikondutturi. Fis-sistemi ta' diffużjoni u ossidazzjoni termali, il-wiċċ miksi bis-SiC jipprovdi reżistenza eċċellenti għal atmosferi ossidanti f'temperatura għolja filwaqt li jimminimizza l-ġenerazzjoni ta' partiċelli u l-kontaminazzjoni metallika. Il-porożità baxxa u l-inerzja kimika tas-saff tas-SiC CVD jgħinu biex tinżamm il-konsistenza tal-proċess matul ċikli ta' produzzjoni estiżi.
F'applikazzjonijiet ta' tkabbir epitassjali, inkluż is-silikon, il-karbur tas-silikon (SiC), u l-manifattura tas-semikondutturi komposti, l-indafa tat-tubi tal-forn u l-istabbiltà termali huma essenzjali biex tinkiseb depożizzjoni uniformi tal-film u riżultati tal-proċess ripetibbli. Il-kisi dens tas-SiC jaġixxi bħala barriera protettiva kontra l-gassijiet korrużivi tal-proċess filwaqt li jippreserva l-karatteristiċi termali meħtieġa għal kontroll preċiż tat-temperatura fil-kamra tar-reattur kollha.
Għall-produzzjoni avvanzata ta' semikondutturi tal-enerġija, partikolarment fil-manifattura ta' apparati SiC u GaN, it-tubi tal-forn miksija bis-CVD SiC jikkontribwixxu għal stabbiltà mtejba tal-kamp termali, riskji mnaqqsa ta' kontaminazzjoni, u affidabbiltà mtejba tat-tagħmir. Il-kapaċità tagħhom li jifilħu ċikliżmu termali ripetut taħt kundizzjonijiet ta' temperatura għolja u vakwu tagħmilhom soluzzjoni materjali preferuta għal sistemi ta' tkabbir tal-kristalli, tagħmir ta' ttemprar, u għodod oħra kritiċi għall-ipproċessar termali.
Is-servizzi tagħna

Ħanut tal-Prodotti Semixlab


EN
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ





