Dgħajsa tal-Wafer Miksija bis-CVD SiC għall-Ossidazzjoni u d-Diffużjoni

F'Semixlab, aħna nagħmlu wafer boats miksija bis-SiC għal ambjenti semikondutturi impenjattivi – fejn il-konsistenza, l-indafa, u l-ħajja twila tas-servizz huma tassew importanti.

Nibdew b'ċeramika tas-silikon karbur ta' purità għolja (ċeramika SiC, purità 'l fuq minn 99.9%) u napplikaw kisi dens tas-silikon karbur CVD (CVD SiC) b'purità ta' 6N. B'dan il-mod, id-dgħajjes tagħna jżommu l-istabbiltà strutturali tagħhom anke wara tisħin u tkessiħ ripetut, u jgħinu biex inaqqsu r-riskji ta' kontaminazzjoni waqt il-produzzjoni.

X'inhi wafer boat miksija bis-SiC xorta waħda?

Dgħajsa tal-wejfer hija bażikament trasportatur li jżomm diversi wejfers waqt l-ipproċessar termali. Iżżomm il-wejfers fl-ispazjar u l-appoġġ it-tajjeb, filwaqt li tiżgura li s-sħana tiġi trasferita b'mod uniformi bejniethom.

Meta mqabbla mat-trasportaturi konvenzjonali tal-wejfers tal-grafita, id-dgħajjes avvanzati tal-wejfers taċ-ċeramika SiC joffru stabbiltà termali aħjar, kontroll tal-purità, u reżistenza għall-ossidazzjoni f'ambjenti ta' fran tas-semikondutturi. Iżda taħt kundizzjonijiet aggressivi tas-semikondutturi – maż-żmien – tista' tiltaqa' ma' affarijiet bħall-ossidazzjoni tal-wiċċ, it-tneħħija tal-partiċelli, jew l-erożjoni kimika.

Huwa għalhekk li n-nies spiss jagħżlu kisi tas-SiC.

Is-saff tal-karbur tas-silikon jifforma kisi protettiv dens fuq il-wiċċ tal-grafita. Dan itejjeb:

-Reżistenza għall-ossidazzjoni

-Reżistenza għall-korrużjoni kimika

-Ebusija tal-wiċċ

-Kontroll tal-partiċelli

-Kemm iddum il-parti

Huwa għalhekk li d-dgħajjes tal-wejfer miksija bis-CVD SiC jintużaw ħafna f'franijiet ta' ossidazzjoni, franijiet ta' diffużjoni, u sistemi oħra ta' pproċessar termali ta' ndafa għolja.

Karatteristiċi ewlenin tad-dgħajjes tal-wejfer miksija bis-SiC ta' Semixlab

Wiċċ ta' purità għolja

L-impuritajiet jistgħu jagħmlu ħsara diretta lir-rendiment tal-wejfer tiegħek. Aħna nottimizzaw il-proċess ta' kisi tagħna għal purità ta' grad ta' semikondutturi, sabiex inkunu nistgħu ngħinu biex nimminimizzaw il-kontaminazzjoni metallika waqt il-produzzjoni.

Stabbiltà termali kbira

Matul l-ipproċessar tal-ossidazzjoni u d-diffużjoni, id-dgħajjes tal-wejfer iridu jżommu stabbiltà dimensjonali u uċuħ ultra-nodfa taħt ċikli ripetuti ta' temperatura għolja. Id-dgħajjes tal-wejfer tagħna huma ddisinjati biex iżommu d-dimensjonijiet tagħhom permezz ta' ċikli ripetuti ta' tisħin u tkessiħ.

Ġenerazzjoni baxxa ta' partiċelli

Minħabba li l-wiċċ huwa densifikat, inqas grafit jiġi espost – li jfisser li inqas partiċelli jinqalgħu, u jkollok ambjent tal-proċess aktar nadif.

Kopertura uniformi tal-kisi

Strutturi kumplessi ta' slots u kantunieri jeħtieġu ħxuna konsistenti tal-kisi. Il-proċess ta' kisi intern tagħna jgħinna niksbu uniformità aħjar tal-wiċċ fil-parti kollha.

Kapaċità ta' makkinar apposta

Pjattaformi ta' tagħmir differenti jeħtieġu dimensjonijiet differenti. Aħna nappoġġjaw disinji personalizzati bbażati fuq it-tpinġijiet jew ir-rekwiżiti tal-proċess tiegħek.

Manifattura u kontroll tal-kwalità

Kull dgħajsa tal-wejfer tgħaddi minn makkinar taċ-ċeramika ta' preċiżjoni, tħejjija tal-wiċċ, u depożizzjoni ta' kisi CVD SiC ta' purità għolja.

F’Semixlab, kull parti tgħaddi minn:

-Spezzjoni tal-materja prima

-Magni CNC ta' preċiżjoni

-Trattament tat-tindif tal-wiċċ

-Kisi tas-SiC tas-CVD

-Verifika dimensjonali

-Dehra finali u spezzjoni tal-kwalità

Nagħmlu dan sabiex tikseb prestazzjoni affidabbli qabel ma l-parti tidħol fl-għodda tiegħek.

Għaliex tagħżel Semixlab?

Aħna manifattur speċjalizzat ta' grafita semikonduttur u komponenti tal-kisi. Ngħinu lill-klijenti b'dawn li ġejjin:

-Teknoloġija tal-kisi interna

-Produzzjoni flessibbli tad-dwana

-Komunikazzjoni veloċi tal-inġinerija

-Għarfien tal-proċessi tas-semikondutturi

-Kapaċità ta' provvista internazzjonali stabbli

Kemm jekk qed tiżviluppa tagħmir, tmexxi linja pilota, jew tagħmel produzzjoni tal-massa, it-tim tal-inġinerija tagħna jista' jappoġġja l-bżonnijiet tal-applikazzjoni tiegħek.

Jekk qed tfittex fornitur affidabbli ta' wafer boat miksi bis-SiC, Semixlab jista' jagħtik soluzzjonijiet personalizzati bbażati fuq it-tpinġijiet jew il-kundizzjonijiet tal-proċess tiegħek.

L-ispeċifikazzjonijiet attwali jistgħu jiġu aġġustati skont il-kundizzjonijiet tal-applikazzjoni tiegħek.

Id-dgħajjes tal-wejfer miksija bis-SiC tagħna jintużaw ħafna f':

● Fran tal-ossidazzjoni tas-semikondutturi

● Fran tad-diffużjoni tas-semikondutturi

● Sistemi ta' ittemprar termali

● Tagħmir għat-trattament bis-sħana tas-semikondutturi

● Applikazzjonijiet avvanzati ta' R&Ż tas-semikondutturi

● Proċessi ta' ittemprar

● Riċerka dwar materjali semikondutturi f'temperatura għolja