Diska tal-grafita ta' 8 pulzieri għal SiC Epitaxy

Id-Diska tal-Grafita ta' 8 pulzieri għall-Epitassija tas-SiC hija mfassla biex tipprovdi appoġġ stabbli u ripetibbli għat-tkabbir epitassjali tas-silikon karbur fuq wejfers b'dijametru kbir. Hekk kif il-proċessi tal-epitassija tas-silikon karbur jagħmlu tranżizzjoni minn produzzjoni ta' 6 pulzieri għal 8 pulzieri, l-uniformità tal-kamp termali u l-istabbiltà strutturali tal-appoġġ tal-wejfer isiru dejjem aktar kritiċi. Din id-diska tal-grafita hija komponent vitali tas-sistema ta' ġestjoni termali tar-reattur, li tipprovdi ambjent termali kkontrollat ​​u uniformi li jaffettwa direttament l-uniformità tal-ħxuna tas-saff epitassjali, id-distribuzzjoni tad-dopant, u r-ripetibbiltà ġenerali tal-proċess.

Manifatturat minn grafit iżostatiku ta' purità għolja, dan il-materjal intgħażel għall-konduttività termali eċċezzjonali tiegħu, il-proprjetajiet fiżiċi iżotropiċi, u l-kontenut baxx ta' impurità. L-istruttura iżostatika tiżgura densità konsistenti u rispons termali tul il-medda kollha tad-dijametru ta' 8 pulzieri, u timminimizza l-gradjenti tat-temperatura radjali u d-deformazzjoni mekkanika waqt operazzjoni sostnuta f'temperatura għolja. Fi proċessi tipiċi tas-SiC CVD u MOCVD, fejn it-temperaturi tat-tkabbir spiss jaqbżu s-1600°C u ċ-ċikliżmu termali rapidu huwa komuni, id-diska tal-grafita żżomm ċattità u stabbiltà dimensjonali. Dan jippermetti pożizzjonament affidabbli tal-wejfer u trasferiment uniformi tas-sħana matul iċ-ċiklu epitassjali.

Mill-perspettiva tal-proċess, id-diska tal-grafita ta' 8 pulzieri għandha rwol deċiżiv fid-definizzjoni tal-kundizzjonijiet tal-konfini termali fl-interfaċċja bejn il-wejfer u s-sottostrat. Billi tipprovdi fluss tas-sħana prevedibbli u uniformi, tgħin biex trażżan l-effetti tat-tgergir tat-tarf, tnaqqas id-difetti kkawżati mill-istress, u tippermetti kontroll aktar strett fuq il-ħxuna tas-saff epitassjali fuq il-wiċċ kollu tal-wejfer. Il-purità għolja tas-sottostrat tal-grafita tnaqqas aktar ir-riskji ta' kontaminazzjoni tal-metall u inkorporazzjoni ta' impuritajiet fl-isfond, li hija kritika għall-epitassija tas-SiC ta' grad ta' apparat tal-enerġija li teħtieġ densità baxxa ta' difetti u konsistenza elettrika għolja.

Bħala manifattur u fornitur Ċiniż ewlieni ta' komponenti epitassjali, id-Diska tal-Grafita ta' 8 pulzieri ta' Semixlab għall-Epitassija tas-SiC hija ddisinjata speċifikament għal ambjenti ta' produzzjoni epitassjali tas-SiC impenjattivi. Billi tgħaqqad il-grafita iżostatika ta' purità għolja ma' makkinar ta' preċiżjoni u kontroll rigoruż tal-kwalità, dan il-prodott jagħti l-istabbiltà, l-indafa, u r-ripetibbiltà meħtieġa għal epitassja tas-SiC ta' 8 pulzieri b'volum għoli. Dan itejjeb ir-rati ta' rendiment, jimmassimizza l-ħin ta' tħaddim tat-tagħmir, u jnaqqas l-ispiża totali tas-sjieda. Fl-istess ħin, Semixlab tibqa' impenjata li tipprovdi servizzi ewlenin ta' konsulenza teknika u soluzzjonijiet ta' prodotti personalizzati. Nistennew bil-ħerqa li nsiru s-sieħeb fit-tul tiegħek fiċ-Ċina.