Detentur tal-grafita miksija bis-SiC għall-ICP

Pjattaforma tal-ipproċessar epitassjali tas-Si b'ħafna wejfers

Id-Detentur tal-Grafita Miksija bis-SiC ta' Semixlab għall-ICP huwa ddisinjat speċifikament għall-inċiżjoni u d-depożizzjoni tal-plażma akkoppjata b'mod induttiv. Juża sottostrat tal-grafita ta' purità għolja flimkien ma' proċess ta' kisi tal-karbur tas-silikon biex jipprovdi reżistenza eċċellenti għal temperatura għolja, reżistenza għall-korrużjoni, u reżistenza għall-ossidazzjoni. Huwa adattat għal ambjenti analitiċi ħorox, u jestendi b'mod sinifikanti l-ħajja tal-komponenti u jnaqqas l-ispejjeż tal-manutenzjoni. Fl-istess ħin, niggarantixxu kontroll strett tal-kwalità, servizzi personalizzati, u kunsinna veloċi.

Applikazzjoni:

Id-detentur tal-grafita miksi bis-SiC huwa komponent ewlieni fil-proċessi ta' inċiżjoni u depożizzjoni tal-plażma akkoppjata b'mod induttiv (ICP) tas-semikondutturi minħabba l-purità għolja tagħhom, ir-reżistenza għat-temperatura għolja u r-reżistenza eċċellenti għall-erożjoni tal-plażma.

Servizzi li jistgħu jiġu pprovduti:

analiżi tax-xenarju ta 'applikazzjoni tal-klijent, materjali li jaqblu, soluzzjoni ta' problemi tekniċi.

Profil tal-Kumpanija:

Semixlab għandu 2 laboratorji, tim ta 'esperti b'20 sena ta' esperjenza materjali, b'kapaċitajiet ta 'R & D u produzzjoni, ittestjar u verifika.

Parametri Tekniċi

Oqsma prinċipali ta' applikazzjoni

Endorsjar tal-verifika tal-katina ekoloġika

Id-Detentur tal-Grafita Miksija bis-SiC ta' Semixlab għall-verifika tal-katina ekoloġika tal-ICP ikopri l-materja prima sal-produzzjoni, għadda ċ-ċertifikazzjoni standard internazzjonali, u għandu numru ta' teknoloġiji brevettati biex jiżgura l-affidabbiltà u s-sostenibbiltà tiegħu fl-oqsma tas-semikondutturi u l-enerġija l-ġdida.

Għal speċifikazzjonijiet tekniċi dettaljati, white papers, jew arranġamenti ta' ttestjar ta' kampjuni, jekk jogħġbok ikkuntattja lit-Tim ta' Appoġġ Tekniku tagħna biex tesplora kif Semixlab jista' jtejjeb l-effiċjenza tal-proċess tiegħek.

Detentur tal-grafita miksi bis-SiC ta' Semixlab għall-vantaġġi ewlenin tal-ICP

Super reżistenza għall-korrużjoni

Id-detenturi tal-grafita miksija bis-SiC jużaw proċess ta' depożizzjoni tal-fwar kimiku biex jiffurmaw saff protettiv dens ta' karbur tas-silikon fuq il-wiċċ tal-grafita, u b'hekk jirreżistu b'mod effettiv il-korrużjoni minn aċidi qawwija, bażijiet u solventi organiċi. Meta mqabbla mad-detenturi tradizzjonali tal-grafita jew tal-metall, dawn id-detenturi huma aktar stabbli meta jimmaniġġjaw kampjuni korrużivi ħafna, u jipprevjenu l-kontaminazzjoni minħabba d-degradazzjoni tal-materjal. Huma partikolarment adattati għal applikazzjonijiet tal-ICP li jinvolvu espożizzjoni fit-tul għal mezzi korrużivi.

Stabbiltà ta 'temperatura għolja

Fl-ambjent tal-plażma tal-ICP f'temperatura għolja, il-grafita ordinarja tiġi ossidizzata u ablata faċilment, iżda l-kisi tas-SiC jinibixxi b'mod sinifikanti r-reazzjoni bejn is-sottostrat tal-grafita u l-ossiġnu. Ir-reżistenza għat-temperatura għolja tiegħu tiżgura li d-detentur iżomm l-integrità strutturali tiegħu taħt kundizzjonijiet ta' tħaddim f'temperatura għolja fit-tul, u jipprevjeni d-degradazzjoni tal-prestazzjoni tal-istrument minħabba deformazzjoni termali jew telf ta' materjal. Huwa partikolarment adattat għall-ħtiġijiet ta' ttestjar kontinwu ta' laboratorji b'rendiment għoli.

Saħħa mekkanika għolja

Is-SiC għandu ebusija qrib dik tad-djamant, u l-kisi tiegħu jtejjeb b'mod sinifikanti r-reżistenza għall-użu tal-wiċċ aktar iebes. Fl-ICP, il-kisi tas-SiC inaqqas l-użu tal-wiċċ u jestendi l-preċiżjoni tal-adattament tal-komponenti ewlenin, u b'hekk iżomm effiċjenza stabbli tat-trażmissjoni tal-joni u jnaqqas il-frekwenza tas-sostituzzjoni.

Effiċjenti fl-infiq

Meta mqabbel mas-SiC pur jew il-platinu, il-grafita miksija bis-SiC iżżomm prestazzjoni eċċellenti filwaqt li tnaqqas l-ispejjeż bi 30%-50%. Il-ħajja tagħha hija 3-5 darbiet dik tad-detenturi ordinarji tal-grafita, u b'hekk tnaqqas b'mod sinifikanti l-ħin ta' waqfien u l-konsumabbli. Hija soluzzjoni kosteffettiva ottimali, partikolarment għal laboratorji b'baġits limitati li jeħtieġu operazzjoni stabbli fit-tul.