Kategoriji kollha
grafita
Ċrieki tas-Siġillar tal-Grafita Iżostatika ta' Purità Għolja
Ċrieki tas-Siġillar tal-Grafita Iżostatika għal Semikondutturi
Ċrieki tas-Siġillar tal-Grafita Iżostatika ta' Purità Għolja
Ċrieki tas-Siġillar tal-Grafita Iżostatika għal Semikondutturi

Ċrieki tas-Siġillar tal-Grafita Iżostatika ta' Purità Għolja


Iċ-Ċrieki tas-Siġillar tal-Grafita Iżostatika ta' Purità Għolja ta' Semixlab huma ddisinjati biex jappoġġjaw operazzjoni stabbli u kkontrollata mill-kontaminazzjoni ta' tagħmir avvanzat tal-manifattura tas-semikondutturi. Manifatturati minn grafita ppressata b'mod iżostattiku ta' purità ultra-għolja, dawn iċ-ċrieki tas-siġillar jipprovdu prestazzjoni tas-siġillar affidabbli f'ambjenti ta' temperatura għolja, vakwu għoli, u ambjenti kimikament aggressivi li jiltaqgħu magħhom komunement fi proċessi ta' epitaxy, CVD / LPCVD / PECVD, diffużjoni, ossidazzjoni, RTP, u inċiżjoni. Iċ-ċrieki tas-siġillar tal-grafita ta' Semixlab jgħinu biex iżommu l-istabbiltà tal-proċess, inaqqsu r-riskji ta' kontaminazzjoni ta' partiċelli u metall, u jestendu ċ-ċikli ta' manutenzjoni tat-tagħmir. Nilqgħu l-mistoqsijiet tiegħek.

deskrizzjoni

Iċ-Ċrieki tas-Siġillar tal-Grafita Iżostatika ta' Purità Għolja minn Semixlab huma manifatturati minn grafita ppressata b'mod iżostatiku ta' purità ultra-għolja, dawn iċ-ċrieki tas-siġillar jipprovdu prestazzjoni tas-siġillar stabbli u b'kontaminazzjoni baxxa li tappoġġja direttament l-affidabbiltà tal-proċess, il-konsistenza tar-rendiment, u l-ħin ta' tħaddim tat-tagħmir fi proċessi avvanzati ta' fabbrikazzjoni tal-wejfers front-end.

Fis-sistemi ta' epitassija, fejn il-kontroll preċiż tal-fluss tal-gass, l-istabbiltà tal-pressjoni, u l-uniformità termali huma essenzjali, iċ-Ċrieki tas-Siġillar tal-Grafita Iżostatika ta' Purità Għolja ta' Semixlab għandhom rwol kritiku fiż-żamma tal-integrità tar-reattur f'temperaturi sostnuti li ħafna drabi jaqbżu l-1000 °C. Installati fl-interfaċċji tal-kamra, fil-konfini tas-siġillar, u fil-ġonot li jduru jew stazzjonarji fiż-żona sħuna, dawn iċ-ċrieki tas-siġillar juru espansjoni termali baxxa u iżotropika, li tippermettilhom iżommu stabbiltà dimensjonali waqt ċikli termali ripetuti. Il-kontenut eċċezzjonalment baxx ta' impurità metallika tagħhom jimminimizza r-riskju ta' inkorporazzjoni mhux intenzjonata ta' dopant jew kontaminazzjoni tal-metall, u jgħin biex jiżgura ħxuna uniformi tas-saff epitassjali, profili ta' doping ikkontrollati, u tkabbir kristallin ta' kwalità għolja kemm fil-proċessi ta' epitassija tas-silikon kif ukoll tas-semikondutturi komposti.

Fl-applikazzjonijiet CVD, LPCVD, u PECVD, il-komponenti tas-siġillar huma esposti għal taħlita ta' temperatura għolja, vakwu, gassijiet prekursuri korrużivi, u f'xi każijiet ambjenti tal-plażma. Iċ-Ċrieki tas-Siġillar tal-Grafita Iżostatika ta' Purità Għolja ta' Semixlab jintużaw ħafna fis-siġilli tal-bibien tal-kompartimenti, strutturi ta' iżolament tal-gass, u żoni ta' transizzjoni bejn reġjuni sħan u kesħin tar-reattur. Ir-reżistenza kimika intrinsika tal-grafita ta' purità għolja tippermetti tħaddim stabbli fil-preżenza ta' gassijiet tal-proċess aggressivi bħal HCl, NH₃, u prekursuri bbażati fuq l-aloġenu, filwaqt li l-mikrostruttura densa u iżotropika tnaqqas il-ġenerazzjoni tal-partiċelli u d-degradazzjoni mekkanika fuq ħajja ta' servizz estiża. Meta mqabbla mas-soluzzjonijiet tas-siġillar metalliku, iċ-ċrieki tas-siġillar tal-grafita joffru reżistenza superjuri għall-korrużjoni u l-għeja termali, u jikkontribwixxu għal intervalli ta' manutenzjoni itwal u ripetibbiltà mtejba tal-proċess fil-manifattura ta' volum għoli.

Id-diffużjoni f'temperatura għolja, l-ossidazzjoni, u l-ipproċessar termali rapidu jqiegħdu domandi stretti fuq il-prestazzjoni tas-siġillar minħabba temperaturi estremi, rati ta' żieda termali mgħaġġla, u ċikliżmu frekwenti tal-proċess. F'dawn l-ambjenti, iċ-Ċrieki tas-Siġillar tal-Grafita Iżostatika ta' Purità Għolja ta' Semixlab iżommu integrità konsistenti tas-siġillar f'temperaturi li jaqbżu l-1100 °C, u jappoġġjaw kontroll atmosferiku stabbli fit-tubi tal-forn u l-kmamar tal-RTP. Il-proprjetajiet mekkaniċi uniformi pprovduti mill-ippressar iżostatiku jgħinu biex jipprevjenu l-konċentrazzjoni lokalizzata tal-istress, il-mikro-qsim, u d-distorsjoni tas-siġill waqt tisħin u tkessiħ rapidu, u b'hekk jikkontribwixxu għal profili stabbli ta' diffużjoni tad-dopant, tkabbir uniformi tal-ossidu, u riżultati ta' proċess termali ripetibbli kritiċi għal fabbrikazzjoni avvanzata ta' apparati tal-loġika u tal-memorja.

Fil-proċess ta' inċiżjoni, inklużi applikazzjonijiet ta' inċiżjoni niexfa li jużaw kimiċi bbażati fuq l-aloġenu u ambjenti assistiti mill-plażma, iċ-ċrieki tas-siġillar huma meħtieġa biex iżommu l-integrità tal-vakwu filwaqt li jillimitaw il-ġenerazzjoni tal-partiċelli u d-degradazzjoni kimika. Iċ-Ċrieki tas-Siġillar tal-Grafita Iżostatika ta' Purità Għolja ta' Semixlab tipikament jintużaw f'żoni ta' espożizzjoni mhux diretta għall-plażma, bħal interfaċċji tas-siġillar tal-periferija tal-kamra u reġjuni ta' iżolament strutturali. Meta kkombinati ma' densifikazzjoni xierqa tal-wiċċ jew kisi protettiv, dawn iċ-ċrieki tas-siġillar jipprovdu reżistenza affidabbli għall-gassijiet korrużivi tal-inċiżjoni u l-istress termali, jappoġġjaw kundizzjonijiet stabbli tal-kamra u jnaqqsu r-riskju ta' telf ta' rendiment relatat mal-kontaminazzjoni.

Iddisinjat b'enfasi fuq il-purità tal-materjal, l-istabbiltà strutturali, u l-affidabbiltà fit-tul, il-kompatibilità taċ-Ċirku tas-Siġillar tal-Grafita Iżostatika ta' Purità Għolja ta' Semixlab ma' teknoloġiji avvanzati ta' kisi u l-integrazzjoni f'arkitetturi kumplessi ta' tagħmir tas-semikondutturi jagħmluhom soluzzjoni fdata kemm għal nodi ta' proċess avvanzati kif ukoll maturi. Billi jipprovdi prestazzjoni konsistenti tas-siġillar taħt l-aktar kundizzjonijiet ta' proċess impenjattivi, Semixlab jappoġġja lill-manifatturi tas-semikondutturi biex jiksbu rendiment ogħla, utilizzazzjoni mtejba tat-tagħmir, u spiża totali tas-sjieda aktar baxxa. Aħna sinċerament ħerqana li nsiru s-sieħeb fit-tul tiegħek fiċ-Ċina.

speċifikazzjonijiet
Proprjetajiet fiżiċi tal-grafita iżostatika
proprjetà Unità Valur tipiku
Densità Bulk g / cm³ 1.83
Ebusija HSD 58
Ir-reżistenza elettrika μΩ.m 10
Qawwa flesswali MPa 47
Qawwa Kompressiva MPa 103
Tensile MPa 31
Modulus taż-żgħażagħ GPa 11.8
Espansjoni Termali (CTE) 10-6K-1 4.6
Konduttività Termali W·m-1·K-1 130
Daqs medju tal-qamħ μm 8-10
Porożità % 10
Kontenut ta ’Irmied ppm ≤5 (wara purifikat)
Is-servizzi tagħna

Ħanut tal-Prodotti Semixlab

mhux definit

INKJESTA

Kategoriji sħan