Ċirku tal-Morsa 0200-15001

Iċ-Ċirku tal-Molla AMAT 0200-15001 huwa wieħed mill-komponenti strutturali ewlenin fil-kmamar tat-tagħmir tas-semikondutturi tal-Materjali Applikati (AMAT). Huwa komponent taċ-ċeramika tal-alumina (Al₂O₃) ta' purità għolja għall-ikklampjar/kompressjoni użat ħafna fil-moduli tal-proċess ta' depożizzjoni u inċiżjoni. Il-valur ewlieni tiegħu mhuwiex fil-parteċipazzjoni diretta fir-reazzjonijiet, iżda fiż-żamma tal-istabbiltà strutturali tal-kamra u l-konsistenza tal-ambjent tal-proċess.

1. Ħarsa Ġenerali lejn il-Prodott u l-Proprjetajiet tal-Materjal (Al₂O₃)

● Isem tal-Prodott: AMAT 0200-15001 Ċirku tal-Morsa

● Kategorija: Ċirku tal-Morsa taċ-Ċeramika tal-Kamra / Komponent tal-Morsa tal-Kamra

● Materjal: Ċeramika tal-alumina ta' purità għolja (Al₂O₃)

2. Funzjonijiet Ewlenin fit-Tagħmir tas-Semikondutturi

Fl-istruttura tal-kamra tal-AMAT, dan iċ-Ċirku tal-Morsa jservi primarjament il-funzjonijiet ta' trażżin mekkaniku u assigurazzjoni tal-istabbiltà tal-proċess:

① Fissazzjoni Strutturali u Ikklampjar tal-Kamra

Użat biex jiffissa b'mod sigur komponenti kritiċi tal-kamra, inklużi:

●Kwarz (komponenti tal-kwarz)

●Liner (inforra tal-kompartiment)

●Ċirku tat-tarf (struttura taċ-ċirku tat-tarf)

●Showerhead (struttura tad-distribuzzjoni tal-gass)

Ikklampjar preċiż jipprevjeni allinjament strutturali ħażin ikkawżat minn espansjoni termali jew stress tal-vakwu.

② Kontroll tal-Uniformità tal-Plażma

Il-preċiżjoni ġeometrika taċ-Ċirku tal-Morsa tinfluwenza direttament:

●Simmetrija tad-distribuzzjoni tal-kamp elettriku

● Uniformità tad-densità tal-plażma

●Kapaċità ta' kontroll tal-effett tat-tarf

Dan huwa partikolarment kritiku għal proċessi avvanzati (≤28 nm).

③ Kontroll tal-Partiċelli u Assigurazzjoni tar-Rendiment

L-istabbiltà strutturali tnaqqas il-mikrovibrazzjonijiet u l-frizzjoni, u b'hekk timminimizza:

●ġenerazzjoni ta' mikro-partiċelli

●kontaminazzjoni tat-tarf tal-wejfer

●varjazzjonijiet fid-densità tad-difetti

3. Modi Tipiċi ta' Ħsara (Analiżi tal-Ħsara)

Abbażi tal-esperjenza ta' Semixlab fil-manutenzjoni u r-rinnovazzjoni tat-tagħmir, il-modi komuni ta' ħsara għal dan it-tip ta' Ċirku tal-Morsa Al₂O₃ jinkludu:

① Erożjoni tal-Plażma

L-espożizzjoni fit-tul għall-ambjent tal-gass tar-reazzjoni twassal għal:

●Taħwir tal-wiċċ

●Sputtering tal-materjal

●Żieda fir-rilaxx tal-partiċelli

② Qsim ta' Stress Termali

Ikkawżat minn bidliet mgħaġġla fit-temperatura (ċikliżmu termali):

●Formazzjoni u propagazzjoni ta' mikroxquq

●Saħħa strutturali mnaqqsa

●Riskju potenzjali ta' ksur

③ Tqaxxir tat-Tarf

Komunement jidher f'każijiet ta':

●Stress irregolari tal-installazzjoni

●Kontroll mhux xieraq tat-torque

●Impatt mekkaniku

④ Nuqqas ta' Ħruġ ta' Gass tal-Partiċelli

Rilaxx ta' partiċelli ta' Al₂O₃ wara degradazzjoni tal-wiċċ:

●Rata akbar ta' difetti fil-wejfer

●Tieqa tal-proċess imnaqqsa

⑤ Drift Dimensjonali

Tibdiliet mikrostrutturali kkawżati minn tagħbija termali fit-tul:

●Preċiżjoni tal-allinjament imnaqqsa

●Siġillar tal-kamra deterjorat